На кафедре №70 разработана уникальная методика бесконтактного измерения пространственного распределения тока в микро- и нано- структурах
26
февраля
2014
Созданная методика обеспечивает проведение измерений токовых путей в сложных топологических системах, определение двумерного распределения тока в планарных микро- и нано- структурах на основе измерения индуцированного магнитного поля с помощью техники магнито-силовой микроскопии с пространственным разрешением менее 20 нм, исследование явления электромиграции и разрушения токовых каналов при высоких плотностях тока в наносистемах.
